Saintréithe an phróisis monaraíochta sliseanna ciorcaid comhtháite

Tá réimse leathan ábhar i gceist leis an bpróiseas monaraíochta sliseanna ciorcaid comhtháite, lena n-áirítear miotail, leathsheoltóirí, ceimiceáin, gáis agus uisce. Tá roghnú agus úsáid na n-ábhar seo ríthábhachtach chun feidhmíocht agus cobhsaíocht na sliseanna a chinntiú.

Thairis sin, tá an teicneolaíocht phróiseála thar a bheith casta agus casta. Is féidir an próiseas déantúsaíochta ar fad a roinnt go garbh i dtrí phríomhchuid: teicneolaíocht leithlisithe, teicneolaíocht planar, agus teicneolaíocht iarphróiseála. Cuimsíonn teicneolaíocht leithlisithe aonrú tréleictreach, aonrú acomhal p-n, agus modhanna leithlisithe aeir, a éilíonn úsáid ocsaídiúcháin, fótagrafaíochta, epitaxy, idirleathadh, agus próisis eile. Clúdaíonn teicneolaíocht planar, atá mar chroílár na déantúsaíochta ciorcaid comhtháite, príomhchéimeanna cosúil le epitaxy, ocsaídiú, photolithography, idirleathadh, agus galú. Ar an láimh eile, is éard atá i gceist le teicneolaíocht iarphróiseála ná slicing, gearradh, sintéarú, táthú, pacáistiú, scagadh próisis, tástáil, aicmiú agus priontáil, ag cinntiú cáilíocht agus feidhmíocht deiridh na sliseanna.