Ինտեգրված շրջանառու չիպի արտադրության գործընթացի առանձնահատկությունները
Ինտեգրալ շրջանառու չիպերի արտադրության գործընթացում ներգրավված են նյութերի լայն շրջանակ, այդ թվում՝ մետաղներ, կիսահաղորդիչներ, քիմիական նյութեր, գազեր եւ ջուր։ Այս նյութերի ընտրությունն ու օգտագործումը շատ կարեւոր են չիպսերի արդյունավետությունն ու կայունությունը ապահովելու համար։
Բացի այդ, մշակման տեխնոլոգիան չափազանց բարդ է եւ բարդ։ Արտադրական ողջ գործընթացը կարելի է մոտավորապես բաժանել երեք հիմնական մասերի՝ մեկուսացման տեխնոլոգիա, պլանային տեխնիկա եւ հետարտադրական տեխնիկա: Մեկուսացման տեխնոլոգիան հիմնականում ներառում է դիէլեկտրիկ մեկուսացումը, p-n միացման մեկուսացումը եւ օդի մեկուսացման մեթոդները։ Այս մեթոդը պահանջում է օքսիդացման, ֆոտոլիթոգրաֆիայի, էպիթաքսիայի, դիֆուզիայի եւ այլ պրոցեսների կիրառում։ Պլանային տեխնոլոգիան, որը հանդիսանում է ինտեգրալ շրջանային արտադրության միջուկը, ընդգրկում է այնպիսի կարեւոր քայլեր, ինչպիսիք են էպիթաքսիա, օքսիդացում, ֆոտոլիթոգրաֆիա, դիֆուզիա եւ գոլորշիացում: Հետերոցիկլիկ տեխնոլոգիան, մյուս կողմից, ենթադրում է մոնտաժ, մոնտաժ, սինտերինգ, կապակցում, փաթեթավորում, պրոցեսների սկրինինգ, փորձարկում, դասակարգում եւ տպագրություն, ապահովում է չիպերի վերջնական որակը եւ կատարումը: